Halbleiterproduktion

Feinstaub, Bakterien und Keime haben keine Chance

Bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente können schon winzige Partikelchen von der Größe eines halben Mikrometers schwerwiegende Folgen haben. Delbag-Filtersysteme erfüllen alle internationalen Reinraum-Normen und gehen weit über die herkömmlichen Qualitäten hinaus.

Allen voran die Halbleiterfertigung und pharmazeutische Industrie, doch auch Unternehmen der chemischen Industrie, Raumfahrttechnik oder Optik- und Lasertechnologie forschen und fertigen zunehmend häufiger unter Reinraum-Bedingungen. Hierbei werden in abgeschlossenen Bereichen technische, chemische oder biologische Qualitätsprodukte mit höchst sensiblen Fertigungsverfahren veredelt, die in der Raumluft ein Höchstmaß an Staubfreiheit erfordern – am Fertigungsprozess dagegen absolute Partikelfreiheit voraussetzen.

Reinraum-Lösungen von DencoHappel ermöglichen es den Anwendern, alle kritischen Parameter genau auf die Bedürfnisse der jeweiligen Fertigungsprozesse hin abzustimmen und die Dekontamination der Raumluft gezielt zu steuern. So können sie Luftdruck, Temperatur und Feuchtigkeit, vor allem aber die Verunreinigung mit Feinstaub, Hautpartikeln und Bakterien kontrollieren bzw. von Produkten und Prozessen fernhalten. Neben Lufttechniksystemen bietet DencoHappel hierzu auch die notwendigen Filtersysteme und Filtermedien, mit denen Reinraum-Betreiber die internationalen Standards für Reinraum-Normen erfüllen.

Meist konzentrieren sich Hersteller von Reinraum-Filtern auf das Filtern von Staubpartikel, die größer sind als 0,5 μm. DencoHappel bietet jedoch Filterlösungen, die weit über die herkömmlichen Qualitäten (bis zu 0,01 μm) hinausgehen – und ständig werden neue Lösungen im DencoHappel Technologiezentrum entwickelt. So sind wir auch in Zukunft ein verlässlicher Partner für Unternehmen und den Anforderungen der Zeit immer einen Schritt voraus.

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